团队负责人：王晗
团队成员：王晗、尹自强、赵翼翔、张平、王素娟、董永超、吴佩萱、王瑞洲、孙占文、李克天、曾俊、朱自明、房飞宇
研究方向：
（1）超精密制造装备与制造工艺：主要面向超精密静压回转类轴承的设计与制造；同时研究超精密平面导轨与平台的设计与研究。（2）超精密检测技术与关键检测基础部件研究：研究超精密扫描测量的误差分离方法及光学表面轮廓重构算法，深入探索超精密光栅尺的设计方法及测量技术。（3）超精密增减材加工工艺与微纳器件设计实现：微结构阵列超精密增减材加工机理和功能保障方法；面向电子制造的微纳增材加工装备的研制与应用。
研究成果：
近五年，团队在超精密制造装备、超精密检测技术、超精密加工工艺和微纳器件制造工艺及装备四个主要研究方向，发表SCI论文29篇，EI论文7篇；申请发明专利140件，其中授权48件，申请并授权实用新型专利12件；参与制定企业标准3个。获批国家、省市级科研项目5项，总经费超2000万元。获得国家专利奖优秀奖1项，中国机械工业奖二等奖1项，广东省科学技术奖一等奖1项，国家技术发明奖二等奖1项。
